¾ð·Ð»ç
ÀÔ·Â : 2024.10.22 11:51
- Ãâó:ÀÇ»ç½Å¹®
ÄÜÅÃÆ®·»Á ´õ¿í ¾ÈÀüÇÏ°í ¿À·¡ Âø¿ëÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï µ½´Â Ç×±Õ ³ª³ëÄÚÆà ±â¼úÀÌ °³¹ßµÆ´Ù.
¿¬¼¼ÀÇ´ë ¿ëÀμ¼ºê¶õ½ºº´¿ø(¿øÀå ±èÀº°æ)Àº ¾È°ú Áö¿ë¿ì ±³¼ö¡¤¹®Ã¤Àº ¿¬±¸¿ø ¿¬±¸ÆÀÀÌ ÃÖ±Ù ÄÜÅÃÆ®·»Áî Ç¥¸é¿¡ Àû¿ëÇÏ´Â Åõ¸í ³ª³ëÄÚÆà ±â¼úÀ» °³¹ßÇÏ°í Çâ»óµÈ Ç×±Õ ¼º´É°ú ³»±¸¼º ¹× ºñµ¶¼ºÀ» ÀÔÁõÇß´Ù°í 22ÀÏ ¹àÇû´Ù.
º» ¿¬±¸´Â ¡â³ª³ëÁ¾ÇÕ±â¼ú¿ø(¹ÝµµÃ¼°øÁ¤±â¹Ý ³ª³ë¸ÞµðÄà µð¹ÙÀ̽º °³¹ß»ç¾÷) ¡â°úÇбâ¼úÁ¤º¸Åë½ÅºÎÀÇ Àç¿øÀ¸·Î, ¡â°úÇбâ¼ú»ç¾÷ÈÁøÈï¿ø(µö»çÀ̾𽺠â¾÷ È°¼ºÈ Áö¿ø»ç¾÷) ¡âÇѱ¹¿¬±¸Àç´ÜÀÇ Áö¿øÀ» ¹Þ¾Æ ¿ëÀμ¼ºê¶õ½ºº´¿ø ¾È°ú¸¦ ºñ·ÔÇØ Çѱ¹°úÇбâ¼ú¿ø(KAIST) »ý¸íÈÇаøÇаú ÀÓ¼º°© ±³¼ö, ±â´É¼º ¹Ú¸· ¿¬±¸½Ç ¹Ú³ªÇö¡¤¼ÛÀ±¼º ¿¬±¸¿ø°ú ³ª³ëÁ¾ÇÕ±â¼ú¿ø ÀÌ°æ±Õ ¹Ú»çÀÇ °øµ¿ ¿¬±¸·Î ÁøÇàµÆ´Ù. ¿¬±¸ °á°ú´Â ³ª³ë±â¼ú ºÐ¾ß ±¹Á¦ Àú¸í ÇмúÁöÀÎ 'Small(IF 13.0)'¿¡ °ÔÀçµÆ´Ù.
¿¬±¸ÆÀÀº Åõ¸í ³ª³ëÄÚÆÃÀº 99% ÀÌ»óÀÇ Ç×±Õ ¼º´ÉÀ» º¸¿´°í, 9ÁÖ°£ À̸¦ À¯ÁöÇßÀ¸¸ç. ¹Ýº¹ÀûÀÎ ¼¼Ã´ ÈÄ¿¡µµ Ç×±Õ ¼º´ÉÀ» ÀÒÁö ¾Ê¾Ò´Ù°í ¸»Çß´Ù, ¶ÇÇÑ, ÄÜÅÃÆ®·»ÁîÀÇ Åõ¸í¼º°ú ½Ã·Â ±³Á¤ ±â´É¿¡ ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¡Áö ¾Ê¾ÒÀ¸¸ç, ´« °Ç°¿¡ Çظ¦ ³¢Ä¡Áö ¾Ê´Â ºñµ¶¼ºÀÎ Á¡µµ È®ÀÎÇß´Ù°í ¼³¸íÇß´Ù.
- Ãâó:ÀÇ»ç½Å¹®
ÄÜÅÃÆ®·»Áî´Â Àå½Ã°£ Âø¿ëÇÏ¸é ¼¼±ÕÀÌ ·»Áî Ç¥¸é¿¡ ½±°Ô ºÎÂøÇÏ°í ¹ø½ÄÇÒ ¼ö Àִ ȯ°æÀÌ ¸¸µé¾îÁø´Ù. ÀÌ´Â ¼¼±Õ¼º °¢¸·¿°°ú °°Àº °¨¿° À§ÇèÀ» Å©°Ô ³ôÀÌ°í ¿µ±¸ÀûÀÎ ½Ã·Â »ó½Ç·Î±îÁö À̾îÁú ¼ö ÀÖ´Ù.
ÀÌ¿¡ ¿¬±¸ÆÀÀº ½Ã°£ÀÌ Áö³²¿¡ µû¶ó Ç×±Õ ¼º´ÉÀÌ ÀúÇϵǰųª ÄÚÆà ÀÚü°¡ µ¶¼ºÀ» ¶ì´Â ±âÁ¸ Ç×±Õ ÄÚÆà ±â¼úÀÇ ÇѰ踦 ±Øº¹Çϱâ À§ÇØ »õ·Î¿î Åõ¸í ³ª³ëÄÚÆà ±â¼úÀ» °³¹ßÇÏ°íÀÚ Çß´Ù.
¿¬±¸ÆÀÀº Àå±âÀûÀ¸·Î ÈÇÐÀû ¾ÈÁ¤¼º°ú ±â°èÀû ³»±¸¼ºÀ» °®Ãá Ç×±Õ ¹× ºñµ¶¼º °øÁßÇÕü Çʸ§À» Á¦ÀÛÇØ ÄÜÅÃÆ®·»Áî Ç¥¸é¿¡ Á÷Á¢ Àû¿ëÇß´Ù. ÀÌ °úÁ¤¿¡¼ ±â»ó °íºÐÀÚ ÁõÂø °øÁ¤(initiated chemical vapor deposition, iCVD)À» »ç¿ëÇØ ±âÁ¸ ¾×»ó ÄÚÆà ¹æ½ÄÀÇ ºñ±ÕÀÏÇÑ ÄÚÆà ¹®Á¦¸¦ ÇØ°áÇÏ°í, ÄÜÅÃÆ®·»ÁîÀÇ Åõ¸í¼ºÀ» È¿°úÀûÀ¸·Î À¯ÁöÇß´Ù.
À̾î Ȳ»öÆ÷µµ»ó±¸±Õ, ¸ÞƼ½Ç¸° ³»¼º Ȳ»öÆ÷µµ»ó±¸±Õ, ³ì³ó±Õ µî ¼¼±Õ¼º °¢¸·¿°ÀÇ ÁÖ¿ä ¿øÀαտ¡ ´ëÇÑ Ç×±Õ ¼º´ÉÀ» ½ÃÇèÇß´Ù. ¿¬±¸ÆÀÀº 9ÁÖ°£ Ç×±Õ ¼º´ÉÀÌ À¯ÁöµÇ´ÂÁö »ìÇÇ°í, ¹°¸®Àû ³»±¸¼ºµµ °ËÁõÇß´Ù.
º´¿øÀº À̹ø ¿¬±¸°¡ ¼¼Ã´ ½Ã Ç×±Õ ¼º´ÉÀÌ ÀúÇϵǴ ±âÁ¸ ÄÚÆà ±â¼úÀÇ ÇѰ踦 ±Øº¹Çß´Ù´Â Á¡¿¡¼ Àǹ̰¡ ÀÖ´Ù°í ºÃ´Ù. ƯÈ÷ ¸ÞƼ½Ç¸° ³»¼º Ȳ»öÆ÷µµ»ó±¸±Õ°ú °°Àº Ç×»ýÁ¦ ³»¼º±Õ¿¡ ´ëÇÑ Ç×±Õ ¼º´ÉÀ» ÀÔÁõÇÏ¸ç ¼¼±Õ¼º °¢¸·¿° µî Ä¡¸íÀû ÁúȯÀ» ¿¹¹æÇÏ´Â µ¥ Áß¿äÇÑ ¿ªÇÒÀ» ÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëÇÏ°í ÀÖ´Ù.
Áö¿ë¿ì ±³¼ö´Â "À̹ø ¿¬±¸¸¦ ÅëÇØ ÄÜÅÃÆ®·»Áî »ç¿ëÀÚÀÇ ¾ÈÀü¼ºÀ» Å©°Ô Çâ»óÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±â¼úÀû µµ¾àÀ» ÀÌ·ð´Ù"¸ç "ÇâÈÄ ÄÜÅÃÆ®·»Áî°¡ ¾Æ´Ñ ´Ù¸¥ ÀÇ·á±â±â³ª ºÐ¾ß¿¡¼ ÀÌ ±â¼úÀ» È®Àå Àû¿ëÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ¸·Î ±â´ëÇϸç, °ü·Ã ¿¬±¸¸¦ ÁøÇàÇÒ °èȹ"À̶ó°í ¹àÇû´Ù.
ÀÇ»ç½Å¹®
¹ÚÇÑÀç ±âÀÚ
h_jai@naver.com